激光干涉儀采用光波作為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨率高的特點。其光波波長可直接定義米級，并可追溯到標準。因此，激光干涉儀廣泛應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制和校準、科研開發、高端設備制造等。

激光干涉儀測量原理。

激光干涉儀一次發射單頻光束，分解成兩個光束，然后反射回分光鏡，然后匯回激光干涉儀。當光差不變時，激光干涉儀可以在相長干涉和相消性干涉的極點之間找到穩定的信號。當光差發生變化時，計算這些變化，用于測量兩個光程之間的差值。

在陽極和陰極之間的高壓連接下，產生混合氣體產生激光束，通過放大激光強度將某些光傳輸到輸出激光。在這些參數中，激光管的長度由加熱器控制，使激光定頻率的精度保持在0.05ppm，此時輸出穩定，激光可以進行干涉測量。目前，大多數現代位移干涉儀使用氦霓虹激光管，其輸出波長為633納米。

激光干涉儀的頻率、功率、穩定性、可靠性、光束質量和壽命等參數都與激光器的Z終性能有關。激光頻率是激光干涉Z的基本參數，其頻率(波長)的精度和穩定性是激光干涉儀測量精度的保證。

激光干涉儀的發展歷史。

自1960年以來，梅曼成功研制了第1臺紅寶石激光器，開啟了光學技術飛速發展的新時代。從此，激光干涉測量廣泛應用于長度、角度、微觀形態、轉速、光譜等領域，并結合微電子和計算機技術形成現代干涉儀。

Binning和Rohrer于1988年成功研究掃描隧道顯微鏡，并于1986年發明原子力顯微鏡。從此，干涉儀開始進入納米、亞納米分辨率和精密測量領域。

由于激光具有良好的時間相關性，從出現到現在，激光干涉技術有多種類型：單頻激光干涉、雙頻激光干涉、半導體激光干涉、法布里珀羅(F-P)干涉、x光干涉等。

激光干涉儀是激光Z測量技術的成功應用。它具有非接觸、無損檢測等特點，利用光干涉技術實現測量，已廣泛應用于各個領域。