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1、重復定位精度測量原理重復定位精度測量主要用到干涉儀的線性測量，即對待測平移裝置的定位進行多次測量，比較得到同一位移指令下的定位精度。線性度測量是激光干涉儀的基本測量，原理如圖所示。將一個角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個角錐反射鏡…[詳情]

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1、平面度 平面測量是在角度測量的基礎上做的延伸，利用角度測量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉化為高度的變化，按照對角線的方法測量出平臺上不同位置的高度變化值，就可以得到整個平臺的平面度。 [詳情]

1、角度測量原理 角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個相對旋轉。相對旋轉后，會導致角度測量的兩束光的光程差發生變化，而光程差的變化會被激光干涉儀探測器探測出來，由軟件將線性位置的變化轉換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實現±1…[詳情]

激光回饋（Laser feedback），又叫激光自混合干涉(self-mixing)，是指激光器輸出的光，一部分被外部物體反射或者散射后，攜帶有外部物體的信息，再次回到激光諧振腔內，從而調制激光器的輸出功率、頻率、模式、偏振態等的一種物理現象。激光回饋通常被認為是一個需要避免的問題，因為沒有…[詳情]

1、直線度測量原理 雙頻激光測頭輸出光經過直線度干涉鏡，按偏振態被分成兩束，以一定角度發散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進行干涉測量。通過檢測光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導軌相對于激…[詳情]

1、垂直度測量原理 垂直度測量的主要采用同一個測量基準軸對兩個標稱正交坐標中的每一個軸測量直線度。對兩個直線度測量值進行比較，算出兩個軸之間的垂直度。共同的參考基準是直線度反射鏡的光學基準軸。需要注意的是，兩次測量直線度之間既不移動也不調整。兩次直線度測量過程中至少一…[詳情]

1、平行度測量原理 平行度測量由兩組直線度測量組成，兩次測量都以直線度反射鏡的光學軸為參考基準。需要說明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個正交平面內沿每個要被比較的軸測量直線度。因此，平行度或平行線測量實際是四次直線度測量，每次的步驟和方法同測量直線度一樣，如下圖所示…[詳情]

1、回轉軸測量原理利用鐳測激光干涉儀的角度測量附件，結合高精密轉臺，便可以對回轉軸進行校準。轉臺小巧輕便，單手可握住并可以多種方式安裝到機床上；支持內置電池或線纜供電，藍牙傳輸數據；內置準直光靶，提高對光效率；任意角度、任意間隔自動測量。 2、測量步驟和數據處理[詳情]

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干…[詳情]

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