光刻機干涉儀的維護

  干涉儀：根據光的干涉原理制造的儀器。在未來，自己光源的兩束光都被分離，通過不同光程合并就能顯示干涉條紋。光刻機干涉儀能準確、細致地測定光譜的波長和細觀結構。

維護：

1.儀表在干燥、清潔的室內應適當放置，以防止震動。支座在移動時應支承儀表，避免導軌變形。

2.光學零件不能用時，應存放在干凈的干燥盆內，防止霉變。鏡面和分光鏡不允許擦洗。清洗時，用備件刷仔細擦去灰塵，然后用脫脂清潔棉球滴的酒精及混合物輕輕擦拭。

3.傳動部件應該潤滑良好。請勿使用T5儀表油潤滑導軌、螺桿、螺母和軸孔。

4.用時，各調整部位應用力適中，不能強旋、硬拉。

5.在使用后，導軌上的絲桿應防止刮傷，銹蝕，不失油。

6.儀表調校完畢，涂上紅漆，不得隨意轉圈。

光刻機干涉儀應用

(1)幾何精度檢測可用于直線度、垂直度、縱偏角、平面度、平行度等。

(2)位置精度檢測和自動補償技術可實現對數控機床的定位、重復定位和微量位移精度的檢測。光刻機干涉儀采用RS232接口，既能自動測量機器誤差，又能通過RS232接口實現對線性誤差的自動補償，比一般的補償方法節省了大量時間，避免了人工計算和數控輸入造成的操作誤差，同時大大選擇被測軸上的補償點，使機床達到精度。

(3)光刻機干涉儀實現了數控轉臺精度的檢測與補償、補償及轉臺自動測量。它能自動測量任意角度位置、任意角度間隔，精度達到±1。這項工程已采用了新標準。相對于傳統的自準多面體方法，不僅節省了大量的測量時間，而且得到了整軸精度曲線，了解了各旋轉軸的精度，并給出了按相關標準進行處理的結果。

(4)雙軸定位精度檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統可以同步測量大型龍門移動數控機床，利用雙伺服驅動某軸運動定位精度，并通過RS232接口自動補償兩軸線性誤差。

(5)數控機床動態性能測試軟件采用RENISHAW動態測試與評估軟件，主要應用于激光干涉測量機床振動分析、滾珠絲杠動態性能分析、伺服驅動系統響應分析、導軌動態性能分析(低速爬行)等。